狂风中文网

第728章 只有材料的进度最迅速(第1页)

天才一秒记住【狂风中文网】地址:https://www.kfzw.net

哪怕是拥有诸多支持,拥有大量的资源,研制光刻机依旧是困难重重。

他指着光学系统,说道:“duv光刻机需要由15-20个直径200-300的透镜组成的透镜组;euv光刻机则需要由20多块“锅底大”

的镜片串联组成的反射系统。

镜面表面起伏要求极其严苛,如30长的镜子起伏不超过03n!”

“这一项技术,目前在国内,还没有能实现。”

“更别说对光学元件进行原子级精度的抛光和高精度镀膜……”

郭汝京一想到这些完全没有储备的技术,就觉得头脑发热。

单一研制光刻机的国家,基本不存在。

而现在,紫晶工厂要做的,就是突破这全球的限制,完全依赖国内的厂家,或者自身研制,造出一台光刻机来!

“03n的起伏……这,郑稳都摸不出来吧?”

蒋新松有些咋舌。

“嗯,我已经联系了国内几家光学顶尖的实验室,咨询了一番,但暂时还是没有消息。”

郭汝京指着上面任务里的备注,写着正在求助,待攻克。

蒋新松理了理头绪,然后看向运动模块,问道,“工件台与掩模台的进度,怎样了?”

“精密运动与定位系统啊……”

郭汝京又点开另一个模块,面露难色的说道:“情况也不太妙啊!”

他一一点开里面的详细任务,这个蒋新松倒是不需要他的解释,就完全能看懂。

制造能够在高速运动下(如扫描曝光)实现亚纳米级定位精度的双工件台系统。

其定位精度需小于10n,甚至要达到3n以内的套刻精度要求。

研发应用激光干涉仪、光栅尺等超精密测量传感器,以及直线电机、压电陶瓷等驱动器,实现对晶圆和掩模版的实时位置反馈与控制。

这些都是超精密的器件。

如果只是一般的光栅尺,或许万八千就能买到,但是要放在光刻机上,显然不够。

蒋新松看着下面一堆红色的待开展任务,也不禁皱起眉头,“这需要更高性能的点击,才能实现运动的精度。”

“而因为灯塔国的制裁,发那科、西门子等大集团,都已经中断了咱们采购性能级以上的电机……”

他觉得十分棘手。

现在的情况,真的就是,几乎是一颗螺丝,都得自己造,人家都不肯卖给你。

而这些,在国内又没有替代品。

特别是高端电机,目前初苗集团的德多电机,就已经是国产电机的领军人物了。

压根找不到第二家能直接买来使用的。

“哎,还是得等老钱发力啊!”

郭汝京感慨说道。

好在这条路也不是只有他一个人,整个光科技项目,牵扯进来的团队不下百个,上万名工程师,都在研究着。

其中还有不少高校的团队,也在接到紫晶工厂的委托研究任务后,加入到研究行列中来。

而除了核心的系统外,还有整机集成与软件控制。

需要将上述数十万个零部件(包括4万个螺栓、3千条电线、2公里长软管)进行精密组装。

本章未完,请点击下一章继续阅读!若浏览器显示没有新章节了,请尝试点击右上角↗️或右下角↘️的菜单,退出阅读模式即可,谢谢!

如遇章节错误,请点击报错(无需登陆)

新书推荐

末世之菩提空间美食征服全星际[直播]总裁爹地,不许欺负我妈咪!龙图案卷集·续超级玉钱系统边疆来了个娇媳妇[年代]山沟皇帝重生日本当神官狂神刑天从不良人开始复制诸天重生日本当厨神大周败家子美漫:疯狂多元宇宙高武:我死后记忆曝光,女儿泪崩最强游戏攻略每次穿越都在大理寺牢房国民别慌,我再模拟一个金色天赋合喜今天又收割了金手指无尽维度的乐园造化图快穿之大佬拿了渣女剧本反派大佬带着空间去下乡高岭之花的人设崩了斗罗之签到女神就变强