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午后两点，长光所副所长张学君等人，大部分合作的科研单位代表都来到了梼杌实验室。
方年坐在居中位置。
神态轻松自如。
令人不敢忽视。
张学君也想起了两年多前的那次会面，实在没想到再见面时会是这样的光景。
方年目光扫过与会众人：“各位下午好，我是方年，初次见面，请多关照。”
“方总好。”
“方总太客气了。”
“……”
简单的寒暄过后，方年直截了当道：“恕我冒昧，为了不耽误大家更多的时间，我就开门见山了。”
“庐州前沿正在建设一条12寸晶圆测试线，为了配合这条测试线，梼杌这边将全面进军euv光刻研究，希望大家能给予必要支持。”
此话一出，众人皆愣。
包括梼杌的王院士。
“euv？”
张学君挑了下眉，斟酌着说道，“方总，冒昧问一句，你好像对极紫外情有独钟？”
“理论上只有最尖端光刻需要用到极紫外光刻，duv（深紫外）借住浸入式方案理论上可以做到7n光刻，似乎没必要全面进军euv？”
“……”
在座众人都是懂行人士，纷纷发表了各自的看法。
比如duv技术积累等等问题。
毕竟梼杌实验室名字里的‘半导体设备’五个字有85是针对：
集成电路前道制造光刻机。
光刻机其实是个泛称，内里可细分为前道制造、后道封装、应用于tft（薄膜晶体管）的光刻、应用于中小基底先进光刻等的光刻机。
一般大众认知范围内的光刻机是集成电路前道制造光刻机……
听着大家的不同意见，方年微微一笑：“duv不是有各位在努力吗？”
“前沿不能白叫前沿这个名字，而且euv这个领域基本上属于赢家通吃，很符合前沿的目标。”
王院士立马道：“可是asl的euv实验机去年就运到了台积电使用。”
“……”
“这个领域需要很庞大的投入。”
“……”
方年当然知道。
他更清楚的是，全球范围内euv光刻机的差距其实不太大。
要么就是没想过，要么就是放弃了。
唯一一家至死不渝坚持到底的是asl。
有意思的是，最终水准其实取决于砸钱程度以及对技术整合的程度。
当然，asl快得很，06年开始投入，去年推出了首台euv工程原型机，而且还有台积电这个大客户在使用、验证、反馈。
但……
asl很缺钱，方年曾看过的所有与asl有关的媒体报道都提到了asl在2012年7月份发起的客户联合投资计划。
这份计划募集了超过50亿欧元的资金，其中一半用于euv光刻研发。
且因为始终未实现euv光刻机的大规模量产，以至于参与这份计划的三星、台积电、英特尔先后减持了股份。
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